Форма документа : Шифр видання : Автор(и) : Дежкунов, Николай, Ланин, Владимир, Ковальчук, Алексей Назва : Ультразвуковая очистка в технологии электроники Місце публікування : CHIP NEWS Украина. Инженерная микроэлектроника. - Киев: ООО Булавиа-Посад, 2017. - № 9. - С. 66-71 (Шифр C770899327/2017/9) Ключові слова (''Вільн.індекс.''): очистка поверхні--електронна промисловість--ультразвукове очищення Дод.точки доступу: Ланин, Владимир Ковальчук, Алексей